Полное описание
Журнал
Semiconductor Science and Technology. - Bristol : Institute of Physics Publishing Ltd.. - Выходит ежемесячно. - ISSN 0268-1242. - Текст : электронный.
ГРНТИ УДК
47.33 537.311.322
47.09.29 621.315.592.002
47.13.11
29.19.31
Параллельные издания: Semiconductor Science and TechnologySemiconductor Science and Technology : Institute of Physics Publishing Ltd.. - ISSN 13616641
Аннотация: Статьи, обзоры и краткие сообщения по прикладным экспериментальным и теоретическим исследованиям в области полупроводниковой технологии: структурные, электронные, оптические и акустические свойства полупроводниковых материалов (в т.ч. наноструктуры, тонкие пленки) и их межфазных границ; полупроводниковые устройства (светодиоды, полевые транзисторы и др.), их проектирование, изготовление, монтаж; обработка материалов; анализ материалов и устройств; спектромикроскопические исследования отказов устройств; полупроводниковые гетероструктуры; выращивание и подготовка материалов, модели выращивания, микроструктура и топография поверхности, обработка поверхностей; физика и химия гетеропереходов; резисты, литография, металлизация; многослойные структуры, полупроводниковые компоненты; проектирование, моделирование, оптимизация, технология производства полупроводниковых устройств и схем.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): vr=S655007)
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W9894)Записей номеров в Каталоге: 61