Полное описание

Wanka, H. Ellipsometrie und Rasterkraftmikroskopie :Untersuchung der Nukleation und des Wachstums von Si-Dunnschichten : Diss. / H.Wanka. - Stuttgart, 1997. - 148 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.134-146

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-416(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ПЛЕНКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/20314)

Шифр в сводном ЭК: fedf368297ecf713193b40c83ac4bc73

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽