Полное описание
> Кузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, Б. А. Билалов. - М. : Издат. Дом МИСиС, 2008 (М.). - 155 с. : ил. - Библиогр.: с. 155. - 250 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. технологии материалов электроники
ГРНТИ | УДК | |
47.13.33 | 621.3.049.76.002 | |
81.13.30 | 620.3 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Нанотехнологии
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Кушхов, А. Р.
Билалов, Б. А.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-08/50118)>
Шифр в сводном ЭК: fc1770328a106cb4710d5f360ce5d116
Заказ фрагмента документа ₽