Полное описание

Лашков, А. В. Формирование газоаналитических мультисенсорных микроэлектронных систем на основе термокаталитических и хеморезистивных элементов / А. В. Лашков. - 2018. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-20 (18 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
59.35.29	543.27.08(043)

Кл.слова (ненормированные): ГАЗОВАЯ ФАЗА -- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ -- МИКРОЭЛЕКТРОННОЕ ПРОИЗВОДСТВО
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-7609)

Шифр в сводном ЭК: f8d5018d86a30f4e746c540111d87a72

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽