Полное описание

Рябышенков, А. С. Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.11.13 / А. С. Рябышенков. - 2018. - 46 с. : ил. - Библиогр.: с. 41-46 (28 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9:621.38(043)

Кл.слова (ненормированные): ПРЕДПРИЯТИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ -- СТЕРИЛЬНЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ -- ФИЛЬТРАЦИЯ ВОЗДУХА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-1413)

Шифр в сводном ЭК: f5e73c8184ebc9864f54b056db9eb39d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽