• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Зиновьев, Д. В. Кремниевые структуры для приборов микроэлектроники : учеб. пособие по курсу "Технология микроэлектроники" / Д. В. Зиновьев, В. М. Андреев, К. А. Тузовский. - М. : МИЭТ, 2006 (М.). - 64 с. : ил. - Библиогр.: с. 63 (8 назв.). - 100 экз. - ISBN 5-7256-0422-5. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76

    Рубрики:
    Кремниевые структуры

    Доп. точки доступа:
    Андреев, В.М.
    Тузовский, К.А.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/30958)

    Шифр в сводном ЭК: f54ebc4aa6bec08e4d62d3c9371fc9a9



    Заказ фрагмента документа ₽