Полное описание

Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и наноэлектронике / Отв.ред. Ю.П.Маишев ; Ред. Ю. П. Маишев. - М. : Наука ; [Б. м.] : Физматлит, 1999. - 185 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.15). - 200 экз. - ISBN 5-02-015315-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Рос.АН. Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002
	621.315.592.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Полупроводники -- Обработка

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИК -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Маишев, Ю.П.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/15)

Шифр в сводном ЭК: f2fd700ee281f2c809acec896a69f878

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽