Полное описание

Акуленок, М. В. Эпитаксиальные процессы в технологии микроэлектроники : учеб.пособие по курсу "Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники" / М.В.Акуленок. - М. : [б. и.], 1993. - 84 c. : ил. - 150 экз. - ISBN 5-7256-0005-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электронной техники (Техн.ун-т).Библиогр.:с.80-83

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-93/12242)

Шифр в сводном ЭК: ed8f2014de0a2a2d1c2c78b3bd15da21

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽