Полное описание

Ануров, А. Е. Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Е. Ануров. - 2017. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (13 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.49.51	629.78.05:621.3.049.76(043)

Кл.слова (ненормированные): БОРТОВЫЕ СИСТЕМЫ -- КОСМИЧЕСКИЕ ЛЕТАТЕЛЬНЫЕ АППАРАТЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар17-8424)

Шифр в сводном ЭК: eaea47f55745d4c1e6cd15d44f1cae45

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽