Полное описание

Реутов, В. Ф. Methods for obtaining a uniform volume concentration of implanted ions / В.Ф.Реутов. - Dubna : [s. n.], 1995. - 10 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-95-56). - 300 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Reutov V.F.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Е14-95-56)

Шифр в сводном ЭК: e80568505b243ed52fa01ea08d85039b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽