Полное описание

Григорьев, С. Н. Устройства с полым катодом для обработки поверхности плазмой и пучками ускоренных частиц : монография / С. Н. Григорьев, Ю. А. Мельник, А. С. Метель. - М. : КУРС, 2016. - 126 с. : ил. - Библиогр.: с. 120-124 (53 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-906923-02-8. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.048.7.06

Рубрики:
Электронная обработка материалов -- Оборудование

Доп. точки доступа:
Мельник, Ю.А.
Метель, А.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-16/39500)

Шифр в сводном ЭК: e70333490cc83581f2290f993b43ac7d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽