Полное описание

Хоботнев, О. Ю. Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.18 / О. Ю. Хоботнев. - Воронеж, 2006. - 18 с. - Библиогр.: с. 16-18 (16 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.001.57(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-500)

Шифр в сводном ЭК: e50ce4081ecb894349fb7dc8f98e3340

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽