Полное описание

Истомина, Н. Л. Физико-технические основы субмикрометровой дифрактометрии топологии поверхности, модифицируемой в ионно-плазменных процессах : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 01.04.04 / Н. Л. Истомина. - М., 2006. - 33 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-33 (39 назв.). - Текст : непосредственный.
В надзаг.:"МАТИ"- рос. гос. технолог. ун-т им. К.Э. Циолковского

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-сф65)

Шифр в сводном ЭК: e171a93426feb18a732ed721c40618e8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽