Полное описание
> Ивин, В. В. Исследование предельных возможностей использования оптической литографии в области критических размеров менее 0,2 мкм с помощью математического моделирования / В.В.Ивин,Т.М.Махвиладзе. - М. : [б. и.], 2000. - 21 с. : ил. - (Препринт / Физико-технологический ин-т(Москва) ; 23). - 50 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.77-047.84:776(04) |
Рубрики:
Фотолитография
Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Махвиладзе, Т.М.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/57213/23)>
Шифр в сводном ЭК: dae0102629c025f13aad0634a29c074b
Заказ фрагмента документа ₽