Полное описание

Micro-and nanoengineering 95 : MNE'95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1996. - XVIII,626 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.30,N 1-4,1996). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.607-625

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(063)
81.13.30	620.3(063)

Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Нанотехнологии -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Perrocheau, J.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/Vol.30,N 1-4,1996)

Шифр в сводном ЭК: d9721e811b3dd6b1963f0cefc6460206

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽