• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Машкина, Е. С. Физико-химические основы технологических процессов микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Е. С. Машкина, Л. Н. Владимирова, Е. Н. Бормонтов ; Министерство науки и высшего образования РФ, Воронежский государственный университет. - Воронеж : Издательский дом ВГУ, 2019. - 171 с. : ил. - Библиогр.: с. 171 (6 назв.). - 40 экз. - ISBN 978-5-9273-2895-6. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84
    47.13.07621.384-022.532-047.84

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Наноэлектронные устройства -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Владимирова, Л.Н.
    Бормонтов, Е.Н.
    Воронежский государственный университет

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/73545)

    Шифр в сводном ЭК: d927ec3030d11a24f9c0bc86364dc6bb



    Заказ фрагмента документа ₽