• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Franz, G. Low pressure plasmas and microstructuring technology / G. Franz ; SpringerLink (Online service). - Berlin ; Heidelberg : Springer-Verlag, 2009. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-85849-2. - ISBN 978-3-540-85849-2. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.04:533.9

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ -- ПЛАЗМА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ
    Доп. точки доступа:
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-85849-2


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.9.04:533.9/F85-450963)

    Шифр в сводном ЭК: d5e41fab4e412f31a4eb972fd79426fe



    Просмотр издания