Полное описание

Худайбергенов, Г. Ж. Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.08 / Г. Ж. Худайбергенов. - Омск, 2003. - 24 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 22-24.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-4805)

Шифр в сводном ЭК: d56a426292727e9d95eec7360e39490c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽