Полное описание

Серов, А. А. Об эффектах, наблюдаемых в системе с комбинированными пучково-плазменным и магнетронным разрядами / А. А. Серов, А. В. Вельмакин, С. В. Муравьев. - М. : [б. и.], 2009. - 16 с. : ил. - (Препринт / "Курчатовский ин-т", российский науч. центр (Москва) ; ИАЭ-6557/7). - Библиогр.: с. 8(4 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
53.49.01	669.017:539.216.2(04)

Рубрики:
Металлические пленки -- Производство

Доп. точки доступа:
Вельмакин, А.В.
Муравьев, С.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/12013/ИАЭ-6557/7)

Шифр в сводном ЭК: d0f3457d52edc5693dabf971da3d27fa

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽