Полное описание

Оскомов, К. В. Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади : специальность 05.27.02 "Вакуумная и плазменная электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. В. Оскомов. - Томск, 2001. - 19 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники. Библиогр.: с. 18-19 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
61.31.51	661.666-416(043)
31.15.30	66.088(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-3820)

Шифр в сводном ЭК: d05622fa7ab790d1f31ed447cc2678b0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽