Полное описание

Знакосинтезирующая электроника: фотолитография : учеб.пособие для хим. и приборостроит. спец. вузов / В.П.Севостьянов,Б.К.Решетников,И.В.Мраморнов,М.Л.Каширский. - Саратов : Изд-во Сарат. ун-та, 1993. - 138 c. : ил. - 400 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Саратов. гос. ун-т им. Н.Г.Чернышевского. Библиогр.:с.133-135(48назв.)

ГРНТИ	УДК
47.63.35	004.353.25'1

Рубрики:
Индикаторы -- Производство

Доп. точки доступа:
Севостьянов, В.П.
Решетников, Б.К.
Мраморнов, И.В.
Каширский, М.Л.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-93/12740)

Шифр в сводном ЭК: cfe6708f47cb371274f1cbea6bf34fd6

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽