Полное описание

К вопросу о резонансном поглощении кремнием излучения СО лазера: влияние имплантации кислорода / С.Д.Зотов,Е.М.Кудрявцев,В.В.Кривов,Э.Н.Лоткова. - М. : [б. и.], 1996. - 21 с. : ил. - (Препринт / Физический ин-т им.П.Н.Лебедева(Москва) ; 39(1996)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:621.373.8(04)

Рубрики:
Кремний -- Обработка лазерная

Доп. точки доступа:
Зотов, С.Д.
Кудрявцев, Е.М.
Кривов, В.В.
Лоткова, Э.Н.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/9354/39(1996))

Шифр в сводном ЭК: cfafe74ed9dfe62e0a172a89e67c7de7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽