Полное описание
> International conference on micro- and nano-engineering (2007 ; Copenhagen). Papers presented at the International conference on micro- and nano-engineering held in Copenhagen, Denmark, Sept. 23-26, 2007 / International conference on micro- and nano-engineering (2007; Copenhagen) ; ed.: A. Kristensen, A. Boisen. - Amsterdam : Elsevier, 2008. - XII, 733-1480 p. : ill. - (Microelectronic engineering ; 2008, Vol. 85, iss. 5-6). - Библиогр. в конце ст. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002(063) | |
81.13 | 620.3(063) |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Нанотехнологии -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Kristensen, A.\ed.\
Boisen, A.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2008, Vol. 85, iss. 5-6)>
Шифр в сводном ЭК: cf8c58eb53ed52665de30fc9064f784d
Заказ фрагмента документа ₽