• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Дюжев, Н. А. Элементный базис нано- и микросистемной техники : учебное пособие / Н. А. Дюжев, В. Ю. Киреев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2019. - 139 с. : ил. - Библиогр.: с. 136-137 (12 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7256-0924-0. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.07621.384-022.532
    47.33.37621.3.049.76
    47.33.31621.3.049.77

    Рубрики:
    Наноэлектронные устройства
    Микроэлектронные приборы
    Интегральные схемы

    Аннотация: Посвящено актуальным вопросам современного развития микроэлектроники и её перспективного направления –нано-и микросистемной техники. Рассмотрены основные производственные технологии создания элементного базиса НМСТ на примере реальных изделий, изготовляемых на технологической линейки Центра коллективного пользования " Микросистемная техника и электронная компонентная база" при НИУ "МИЭТ".
    Доп. точки доступа:
    Киреев, В.Ю.
    "МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/75935)

    Шифр в сводном ЭК: cf851cb71812a57af5617a686c333304



    Заказ фрагмента документа ₽