Полное описание

Багрий, И. П. Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС / И.П.Багрий,Г.А.Чечко. - Киев : [б. и.], 1989. - 20 с. - (Препринт ; 89-46). - 200 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 20 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.14.07	621.3.049.77.001.57(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ
Доп. точки доступа:
Чечко, Г.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/21960/89-46)

Шифр в сводном ЭК: ca1aeed71db8ed95c3841f54f6f76604

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽