Полное описание

Астахова, Н. А. Вакуумно-плазменное травление в технологии ИС : учеб. пособие по курсу "Технология интегральных микросхем" / Н.А.Астахова,Г.И.Глазова. - М. : [б. и.], 1990. - 99 с. : ил. - 250 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск. ин-т электрон. техники.Библиогр.: с. 97 (7 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.77-047.84:621.794

Рубрики:
Интегральные схемы -- Травление

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТРАВЛЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Глазова, Г.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/90900)

Шифр в сводном ЭК: c74ff604b94fdd11254a9843edefd6e7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽