• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Rogers, J. A. Unconventional nanopatterning techniques and applications / J. A. Rogers, H. H. Lee. - Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2008. - on-line. - URL: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470405789. - Загл. с титул. экрана. - ISBN 978-0-470-40578-9. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.3.049.76-047.84
    47.33.37621.3.049.77-047.84:776

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Фотолитография

    Доп. точки доступа:
    Lee, H. H.

    https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470405789


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ?-807261758)

    Шифр в сводном ЭК: c71baf10049e3098f731734cbdfdfdcc



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания