• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Perevoschikov, V. A. Gettering defects in semiconductors / V. A. Perevoschikov, V. D. Skoupov ; SpringerLink (Online service). - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - on-line. - (Springer series in advanced microelectronics ; 19). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/3-540-29499-6. - ISBN 978-3-540-29499-3. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.315.592:669.046.516

    Кл.слова (ненормированные): ДЕФЕКТЫ -- ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ
    Доп. точки доступа:
    Skoupov, V.D.
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/3-540-29499-6


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.315.592:669.0/P43-987916)

    Шифр в сводном ЭК: c53f40f7780c51309b186699d8f74ebd



    Просмотр издания