Полное описание

Бузынин, А. Н. Получение и исследование эпитаксиальных структур "полупроводник - фианит" : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. Н. Бузынин. - М., 2008. - 34 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-34 (61 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар08-5678)

Шифр в сводном ЭК: c526c9415797cc118740e741c6fb9ed0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽