Полное описание
> Chung-I, C. Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch lonenimplantation : сборник научных трудов / C. Chung-I. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 254 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5644). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.233-254
ГРНТИ | УДК | |
31.17.29 | 546.27-386.03:539.216.2(043) |
Рубрики:
Бор, соединения, пленки -- Ионное внедрение
Кл.слова (ненормированные): БОР -- БОР
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5644)>
Шифр в сводном ЭК: be5ce3f6cb3e5997bb1c00148ee7b1c5
Заказ фрагмента документа ₽