Полное описание

Девицкий, О. В. Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств / О. В. Девицкий. - 2017. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-24. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.774(043)

Кл.слова (ненормированные): ЛАЗЕРНОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар17-4918)

Шифр в сводном ЭК: b701866f33eae10e7f2a7e9eedc9b03a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽