Полное описание

Ивин, В. В. Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин. - М., 2000. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Физико-технол. ин-т Рос.АН. Библиогр.:с. 22(6 назв.)*

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-9572)

Шифр в сводном ЭК: b6010fee4895393f87f5a3e72bc776c4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽