• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Zanghellini, J. Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen / J.Zanghellini,A.El-Kholi,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1998. - 74 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6114). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.71-74

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621-181.4
    621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Миниатюрные изделия -- Производство
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
    Доп. точки доступа:
    El-Kholi, A.
    Mohr, J.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6114)

    Шифр в сводном ЭК: b5a4787d8f5bfd37b252a24eaba9a36f



    Заказ фрагмента документа ₽