Полное описание

Паперный, В. Л. Основы нанотехнологий. Плазменные технологии в наноэлектронике : учеб.-метод. пособие / В. Л. Паперный, А. А. Черных ; Иркут. гос. ун-т. - Иркутск : ИГУ, 2014. - 82 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.07	621.384-022.532-047.84

Рубрики:
Наноэлектронные устройства -- Производство

Доп. точки доступа:
Черных, А.А.
Иркутский гос. ун-т

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-14/23780)

Шифр в сводном ЭК: b54bd8bd2858b28922b990231e4db81d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽