Полное описание

Сырчин, В. К. Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. К. Сырчин. - М., 1997. - 41 с.ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 36-40(46 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР97-054)

Шифр в сводном ЭК: b4eac0bcf5f2a55a3c72f59d3ee56a19

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽