Полное описание

Марголин, В. И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин. - СПб, 1998. - 29 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 22-29

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-5309)

Шифр в сводном ЭК: b29286ef1d237b20fd849e1dfef8e51b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽