• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Integrated processing for micro and optoelectronics : proc.of the symp.D on integrated processing for micro and optoelectronics of the 1993 E-MRS spring meeting conf.,held in Strasbourg,May 4-7,1993 / Ed. Y. I. Nissim. - Amsterdam : Elsevier, 1994. - VII,91-374 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering ; vol.25,N 2-4,1994). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей.Указ.:с.365-370

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002(063)
    47.33.33621.383.002(063)
    47.01.13

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
    Оптоэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Nissim, Y.I.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/Vol.25,N 2-4,1994)

    Шифр в сводном ЭК: b15c1165fcc31bbb166eaf8fcc4c3d71



    Заказ фрагмента документа ₽