Полное описание

Conference on insulating films on semiconductors (11 ; 1999 ; Kloster Banz). Proceedings of the 11th binneal conference on insulating films on semiconductors, Jun.16-19, 1999, Kloster Banz / INFOS'99 ; Conference on insulating films on semiconductors (11 ; 1999 ; Kloster Banz) . - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1999. - XII, 447 p. 447 p. : ill. - (Microelectronic engineering ; 1999,Vol.48,N 1/4). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.9(063)
47.09.31

Рубрики:
Контакт полупроводник-диэлектрик -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Schilz, M.\ed.\
Brendel, R.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/1999,Vol.48,N 1/4)

Шифр в сводном ЭК: b125d8b81c360310717c1c09878bbc13

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽