Полное описание

Бикташев, А. А. Промышленные и исследовательские установки для нанесения наноструктурных и наноразмерных покрытий / А. А. Бикташев, В. А. Глинкин, О. В. Желонкин. - Текст : непосредственный // Вакуумная техника, материалы и технология : материалы V Междунар. науч.-техн. конф., 30 марта - 2 апр., 2010 г., Москва. - М. : Новелла, 2010. - С. 126-130. - Библиогр.: 2 назв.
ГРНТИ 81.29.31

Аннотация: Представлены последние разработки установок ЗАО "Ферри Ватт", предназначенные для нанесения наноструктурных или наноразмерных покрытий.
Доп. точки доступа:
Глинкин, В.А.
Желонкин, О.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20101112 : ХРЦ (-20101112)
Свободны: ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -898677-762287)

Шифр в сводном ЭК: af849f5a63123da53150ae9c436877ed

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽