Полное описание

Лазерный комплекс для специализации интегральных схем и микрообработки / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.В.Кеков и др. - М. : [б. и.], 1992. - 19 с. : ил. - (Препринт ; 92-20/269). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(04)
47.13.11

Рубрики:
Интегральные схемы -- Обработка лазерная

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
Доп. точки доступа:
Ахманов, А.С.
Гусев, В.Ю.
Кеков, А.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/45578/92-20/269)

Шифр в сводном ЭК: af6cad09525b8fd626dc4cbb65a4eea0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽