Полное описание

Копейкин, А. Н. Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. Н. Копейкин. - М., 2003. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 18-19 (9 назв.).

ГРНТИ	УДК
67.53.15	697.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-5026)

Шифр в сводном ЭК: af3fc989115a2644236a30dadb55f1b9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽