Полное описание

Истомина, Н. Л. Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Н. Л. Истомина. - М., 1995. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.гос.технол.ун-т им.К.Э.Циолковского. Библиогр.:с.14-15(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.396.6.029.6.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-2)

Шифр в сводном ЭК: ad4e4c9bb9b00c4960ba3370a73a60bc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽