Полное описание

Бутаев, А. Г. Разработка и исследование тестовых структур для контроля параметров полупроводниковых структур методом фотоответа : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Г. Бутаев. - Ереван, 1990. - 25 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Ереван. политехн. ин-т им.К.Маркса. Библиогр.:с. 22-25(23 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.315.592.9.001.4(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-017426)

Шифр в сводном ЭК: a9eb558f51b449a0346ed3e83333d5a9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽