Полное описание

Нелаев, В. В. Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / В. В. Нелаев. - Минск, 2001. - 39 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 25-35

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.001.57(043)
47.01.77

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-3560)

Шифр в сводном ЭК: a95672179efd3e2b369de42a688ec48d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽