Полное описание
> Mieroprocess'89 : proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama ; Ed.: S. Namba, T. Kitayama. - Tokyo : [s. n.], 1989. - 385 p. : ill. - (Japanese journal of applied physics: JJAP series ; n3). - ISBN 4-900526-03-7. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.Указ. в конце кн.
Перевод заглавия: Микропроцессъ89:Труды межд. симп. 1989 Кобе
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.77-047.84:776(062) |
Рубрики:
Фотолитография -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Namba, S.\ed.\
Kitayama, T.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/898/3)>
Шифр в сводном ЭК: a6dd611ef045d8f020fa1d5fcad693ee
Заказ фрагмента документа ₽