• ВХОД

    •  

    Полное описание

    International symposium on semiconductor manufacturing (5th ; 1996 ; Tokyo). Papers selected from presentations at the 5th international symposium... held in Tokyo,Oct.2-4,1996 / International symposium on semiconductor manufacturing (5th ; 1996 ; Tokyo) ; Ed. T. Hattori. - New York : [s. n.], 1998. - 172 p. : ill. - (IEEE transactions on semiconductor manufacturing, ISSN 0894-6507 ; 1998,Vol.11,N 1). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.002(063)
    621.382.002(063)

    Рубрики:
    Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции
    Полупроводниковые приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- ПОЛУПРОВОДНИК -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
    Доп. точки доступа:
    Hattori, T.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W10554/1998,Vol.11,N 1)

    Шифр в сводном ЭК: a5513661b87f65e38faf4d22f659dfb6