Полное описание

Ануфриенко, В. В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки : учеб.пособие по курсу "Технол.процессы и оборудование микроэлектроники" / В.В.Ануфриенко. - М. : [б. и.], 1998. - 66 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0188-9. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т).Библиогр.:с.65(6 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.17	621.3.049.77-047.84:776
	681.618

Рубрики:
Фотолитография
Фотолитографическое оборудование

Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-98/45242)

Шифр в сводном ЭК: a4234dd86e0d71ac7b46096b8a80d21a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽