Полное описание

Наноразмерная ионно-лучевая полировка функциональных слоев микроэлектроники / А. А. Бизюков, И. А. Бизюков, А. И. Гирка [и др.]. - Текст : непосредственный // Вакуумная техника, материалы и технология : материалы VIII Междунар. науч.-техн. конф., 16 - 18 апр. 2013 г., Москва. - М. : Новелла, 2013. - С. 165-169. - Библиогр.: 3 назв.
ГРНТИ 47.13.33

Аннотация: Исследован процесс корректирующего ионно-лучевого травления для регулировки толщины функциональных слоев микроэлектроники с высокой точностью. Функциональный слой на подложке травится сканирующим сфокусированным ионным пучком, локализация и мощность которого соответствует топографии неоднородности толщины функционального слоя. Показана возможность регулировки распределения толщины пленок пo поверхности подложек до +/-4 A⁰ и уменьшение шероховатости поверхности.
Доп. точки доступа:
Бизюков, А.А.
Бизюков, И.А.
Гирка, А.И.
Середа, К.Н.
Слепцов, В.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего -40261133 : ПНТ (-20130606), ХРЦ (-20130527)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -033886-179271)

Шифр в сводном ЭК: a3b8ea49f7af1e07eea7e151d086a2eb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽