Полное описание

Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др. - М. : [б. и.], 2003. - 64 с. : ил. - (Препринт / Физико-технологический ин-т (Москва) ; 24(2003)). - 50 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 56-64(84 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.77-047.84:776(04)

Рубрики:
Электронолитография

Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Силаков, М.В.
Бабушкин, Г.А.
Валиев, К.А.
Ивин, В.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/57213/24(2003))

Шифр в сводном ЭК: a00275531ce65a4293b2c5a482210973

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽