• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Kortshagen, U. Kinetic modeling and experimental studies of large-scale low-pressure RF discharges / U.Kortshagen,B.Heil. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 33 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 99/188). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.27-33

    ГРНТИ УДК
    29.27533.93
    537.525.7

    Рубрики:
    Плазма -- Кинетика
    Высокочастотные разряды

    Кл.слова (ненормированные): ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД -- ПЛАЗМА
    Доп. точки доступа:
    Heil, B.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/99/188)

    Шифр в сводном ЭК: 9d7768512b038ef0599dcc6b49f33fdb



    Заказ фрагмента документа ₽